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20220613163757_16939
产品名称：XYZ直线电机滑台
产品概要：
-- 直线轴XYZ纳米级定位精度；
-- 精密交叉滚柱导轨。
-- 主体铝合金材质
产品精度：
-- XY轴沉复精度±100nm
-- Z轴沉复精度±200nm
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产品名称：XYθ平台
产品概要：
-- 直线轴XY+旋转轴θ电机平台；
-- 幼行程精密运动场所；
产品精度：
-- XY轴沉复精度±0.5μm
-- θ旋转轴精度±2.5arcsec
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产品名称：耦合平台
产品概要：
-- 直线轴XYZ+旋转轴ABC共6轴电机平台；
-- 合用光纤耦合；
产品精度：
-- XYZ轴沉复精度0.3μm
-- ABC旋转轴沉复精度±1.5arc sec
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